真空爐即真空熱處理爐，根據(jù)使用設(shè)備來區(qū)別，大約包括以下種類:
真空淬火爐、真空釬焊爐 、真空退火爐、真空加磁爐、真空回火爐、真空燒結(jié)爐、真空渙散焊爐、真空滲碳爐等。
真空爐按加熱辦法分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐(又稱電子炮擊爐)和等離子爐等。
真空爐一般由主機、爐膛、電熱設(shè)備、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱蛻變，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注設(shè)備和裝卸料的機械手等。真空系統(tǒng)首要由真空泵、真空閥門和真空計等組成
真空淬火(回火、退火)就是經(jīng)過把材料或零件在真空狀態(tài)下按工藝規(guī)程加熱、冷卻來達(dá)到預(yù)期性能的一種處理辦法。
真空釬焊即在真空狀態(tài)下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上，但低于基體金屬熔點溫度，借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和活動形成焊縫的一種焊接工藝(釬焊溫度因材料不同而異)。
真空燒結(jié)即在真空狀態(tài)下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒經(jīng)過粘著和渙散作用而燒結(jié)成零件的一種辦法。
真空加磁 首要適用于金屬材料加磁處理。
真空爐呈現(xiàn)于20世紀(jì)30年代前后，1927年美國制成電工材料真空退火爐，1953年真空自耗電弧爐在工業(yè)中得到使用。